多晶硅石英坩堝的規(guī)定及其應用留意點
信息來源:本站 | 發(fā)布日期:
2019-10-31
| 瀏覽量:
關鍵詞:多晶硅石英坩堝規(guī)定
半導體材料級高純度多晶硅
石英坩堝是拉制大直經(jīng)單晶硅的消耗性容器,每生產(chǎn)制造一爐單晶硅就消耗掉一只鉗鍋。單晶硅是生產(chǎn)制造規(guī)模性集成電路芯片的原料,對鉗鍋的規(guī)定嚴苛。
一般國際上對多晶硅石英坩堝的規(guī)定:材料務必是高純半導體材料級;耐熱性強;鉗鍋的規(guī)格大;高精度;隔熱保溫特性好;節(jié)約資源;產(chǎn)品品質(zhì)一致性好;可靠性高等學校特性。多晶硅石英坩堝在應用時要留意:
1.多晶硅石英坩堝可在1700度下列灼熱,但灼熱溫度高過1100度方解石會變?yōu)椴蝗该鳎蚨刍瘻囟炔豢沙?00度。
2、不可以和HF觸碰,高溫時,非常容易和苛性堿及堿土金屬的硫化物功效。